search

Каталог HAM-LET

Каталог в формате PDF

Онлайн Обучение

Технический запрос

Онлайн-служба COT

Процесс очистки сверхчистых компонентов

 
 
 
 
 

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Краткое описание сверхчистой технологии (UCT)


Сверхчистая технология очистки Ham-Let предусматривает очистку компонентов до сверхвысокой чистоты для применения в системах с высокой степенью чистоты. Процедура очистки состоит из пяти взаимозависимых элементов: чистая работа, возможность очистки, возможность продувки, минимальное образование частиц во время эксплуатации и отсутствие зон улавливания частиц. Ham-let соблюдает принципы чистого исполнения на этапах производства, очистки, контроля и упаковки.

Технические условия:

  • Требования к изделиям и технологическим процессам
  • Управление технологическими процессами
  • Контроль технологических процессов
  • Испытание продукции

Указываются установленные эксплуатационные ограничения. Технологические процессы проверяются на соответствие, чтобы подготовить данные для будущих технических требований. Изделия Ham-Let, технологические процессы и методы контроля постоянно улучшаются в соответствии с техническими условиями, регламентирующими текущие технологические процессы. Ham-Let совершенствует технологии для удовлетворения растущих запросов от перерабатывающих отраслей промышленности и отраслей, где требуется сверхвысокая степень чистоты (UHP). Соответственно пересматриваются и технические условия.

Технические условия на продукцию

Нержавеющая сталь: ASTM A276 и A479 с ограничениями по составу:


Тип

Содержание углерода, %

Содержание серы, %

 316 L

 не более 0,030

 0,020—0,030

 316 L VAR или VIM/VAR

 0,010—0,020

 не более 0,008


Содержание неметаллических включений по методу JK контролируется в соответствии с ASTM E45.

Обработка поверхности. Используется два типа обработки: «H» и «E».


ОБРАБОТКА ТИПА «H»

ОБРАБОТКА ТИПА «E»

 Статистический контроль
 производственных процессов (SPC)

 Статистический контроль
 производственных процессов (SPC)

 

 Специальная внутренняя полировка

 

 Электрополировка смачиваемой поверхности

 Очистка

 Окончательная очистка в чистом помещении


См. данные в каталоге Ham-Let.


Электрополировка. Атомное отношение хром/железо должно быть равным или больше 1,5 в поверхностном слое толщиной 2,5 нм. Испытания проводятся по методике Semaspec 91060573B.

Технические условия на сверхчистую технологию


Для обозначения типа обработки или материал используются следующие данные:

Чистые помещения. Чистое помещения класса 10, рабочие участки и печи класса 10. Участки одобряются ежеквартально в соответствии с федеральным стандартом 209E.

Деионизированная вода. Контролируемое окончательное удельное сопротивление 18 МОм·см. Также контролируются другие свойства для обеспечения стабильности процессов:

  • Промежуточное удельное сопротивление
  • Бактерии
  • Частицы
  • Двуокись кремния

Система ультразвуковой очистки


В системе ультразвуковой очистки контролируются следующие параметры:

  • Температура деионизированной воды на каждой станции обработки
  • Температура сушки
  • Удельное сопротивление деионизированной воды при конечной ультразвуковой промывке
  • Выходная мощность ультразвукового генератора

Гелий.Чистый, сухой, степень фильтрации 0,02 мкм.

Последовательность операций


Анализ материалов


Изделия Ham-Let изготавливаются из сырья, отвечающего строгим стандартам. Химический состав и механические свойства превосходят требования ASTM. Для привариваемых компонентов выбираются материалы с низким содержанием углерода, что помогает избежать выделения карбидов. Также строго контролируется содержание серы для обеспечения стабильного качества сварных соединений. Отдельные фитинги и корпусы некоторых клапанов изготавливаются из нержавеющей стали, выплавленной методом вакуумно-индукционной плавки (VIM) или в вакуумной дуговой электропечи (VAR). Такая сталь содержит меньше серы. Это делается с целью уменьшения включений, улучшения электрополированных поверхностей и, прежде всего, для уменьшения поверхностных дефектов. Каждая плавка такой нержавеющей стали (VIM/VAR) проверяется по методике испытаний согласно ASTM E45 со стандартным металлографическим контролем или растровой электронной микроскопией для определения содержания неметаллических включений по методу JK со 100-кратным и 1000-кратным увеличением.

Статистический контроль производственных процессов (SPC)


Качество обработки поверхности, размеры и другие характеристики фитингов и клапанов регламентируются компанией Ham-Let через статистический контроль производственных процессов (SPC). SPC — это непрерывный контроль деталей вместо проверки готовой продукции, что позволяет гарантировать соответствие всех деталей техническим условиям. SPC — это упреждающий подход, позволяющий компании Ham-Let быстро выявлять изменения в производственном процессе, которые могут повлиять на качество продукции, и выполнять соответствующие корректирующие действия, чтобы избежать производства дефектных изделий. Этот постоянный контроль в реальном времени позволяет выпускать продукцию стабильно высокого качества, повысить эффективность производственных процессов и предлагать более конкурентоспособные цены, ведь клиенты не должны покрывать скрытые расходы, вызванные проблемами на производственной линии.

Обработка поверхности


При качественной обработке поверхности очищенные детали отвечают техническим условиям при эксплуатации. Такие детали можно быстро и полностью очистить или продуть, при этом на них не будут задерживаться и накапливаться случайные частицы. Ham-Let задействует SPC для контроля качества обработки поверхности, чтобы максимальная шероховатость не превышала среднее значение максимального радиуса во время производственного процесса. Готовые изделия тщательно проверяются. Шероховатость поверхности измеряется по стандартам ANSI/ASME B.46.1.

Производятся измерения на каждом отверстии фитинга или клапана по всей длине, за исключением конических поверхностей, мест пересечения или сварки. Для некоторых компонентов фитингов большей длины допускается минимальное несоответствие внутреннего диаметра. Используется два типа обработки поверхности: «H» и «E». Средние и максимальные значения радиуса для серийных образцов продукции сверхвысокой чистоты (UHP) указаны в каталоге высокотехнологичных компонентов (HTC).

Электрополировка


Электрополировка используется для обработки внутренних поверхностей фитингов и корпусов клапанов. В результате такой обработки на поверхности формируется устойчивый к коррозии, инертный слой оксида хрома. После изготовления или механической обработки для сверхчистых изделий применяется такая последовательность:

  • Предварительная очистка сверхчистых устройств для получения однородной поверхности
  • Электрополировка и промывка деионизированной водой
  • Пассивирование и последующие промывки деионизированной водой (при необходимости).

Ссылочный стандарт: SEMI F19-95.

Очистка деионизированной водой и сушка


Окончательная очистка — решающий этап в изготовлении безупречной сверхчистой детали, поэтому Ham-Let применяет очистку деионизированной водой на этапах сборки, испытания и упаковки продукции. Сразу после изготовления сверхчистые детали поступают на многоэтапную промывку деионизированной водой. После этого они промываются высокоскоростным потоком деионизированной воды в чистом помещении класса 10. Излишки влаги сдуваются азотом. Затем фитинги высушиваются в печи в чистом помещении класса 10.

Ссылочный стандарт: SEMI E49.2-0298.

Сборка, испытание и упаковка класса 10


После производства под строгим контролем сверхчистые детали передаются на рабочие станции класса 10 в чистых помещениях класса 10, где выполняются сборка, испытания и упаковка деталей для исключения возможности загрязнение из воздушной среды. Внутренний нейлоновый пакет защищает от загрязнений, а внешний полиэтиленовый пакет образует крепкую, ударопрочную упаковку.

Упаковка фитингов. Внутренний пакет запаивается под вакуумом для защиты фитинга от загрязнения. Это также предотвращает повреждение упаковки фитингом. Коробка заполняется набивочным материалом.

Справка


Ham-Let также использует методы испытания по ASTM в соответствии с методами испытаний SEMATECH для дополнительного выборочного контроля партий продукции. Эти методы, основанные на отраслевых стандартах, позволяют получать воспроизводимые данные. Полученные данные также можно использовать для дополнительных требований к управлению технологическими процессами.

Анализ поверхности


Для контроля образцов продукции используется растровая электронная микроскопия или рентгеноспектральный микроанализ, поскольку анализ поверхности не выполняется при измерении ее шероховатости. В этой процедуре используется стандартизованная система рабочих параметров, что обеспечивает соответствие всех результатов. Поверхности произвольно выбранных образцов изучаются с 3600-кратным увеличением. Методы испытаний по ASTM F1372 и ASTM F1375. Дефекты поверхности подсчитываются, измеряются и анализируются с помощью растровой электронной микроскопии. Основной материал и все включения или загрязнения можно при необходимости определить с помощью рентгеноспектрального микроанализа.

Состав поверхности


Анализ методом электронной Оже-спектрометрии (ЭОС) используется для проверки наличия устойчивого к коррозии, инертного слоя оксида хрома на основе метода испытания SEMSPEC 91060573A-STD. Этот анализ методом ЭОС измеряет содержание железа, хрома, углерода, кислорода и никеля. В поверхностном слое толщиной 10 нм атомное отношение хром/железо должно быть равным или больше 1,5. Для проверки качества очистки и промывки проверяется наличие следующих загрязнений на поверхности:
кальций, натрий, фосфор, хлор, сера и двуокись кремния.

Анализ влажности


Ham-Let задействует высокочувствительное (концентрация влаги 0,1 части на миллиард) испытание дегазации влаги для контроля соответствия процессов сушки. Изделия испытываются в сухой, контролируемой камере. Непрерывная продувка высокочистым азотом гарантирует отсутствие загрязнений. Азот проходит через испытываемый компонент с расходом 1 л/мин под давлением 30 psi (2 бар) (согласно ASTM F1397), после чего следует обезгаживание прогревом, когда испытываемый компонент высохнет.

Испытания гелием на утечку


Ham-Let проводит испытания на утечку сверхчистым технологическим гелием в соответствии с ASTM E98, метод A. Сверхчистые изделия испытываются в среде класса 10.

Фитинги с торцевым уплотнением испытываются гелием на утечку для проверки их герметичности в сборе при расходе 3×10—11 см³/с.

Анализ по подсчету частиц


Испытаниях фитингов Ham-Let с помощью счетчиков частиц указывают на наличие не более 4 частиц на 0,01 микрометр.
Испытания проводятся по стандарту Semaspec 90120390 B.

decoration
decoration

HAM-LET New Products

 

О компании

Ведущий производитель клапанов и фитингов для трубопроводных систем, КИПиА и высокочистых производств. Мы используем свой опыт и мастерство для создания широкого ассортимента высококачественной продукции по международным стандартам. Подробнее ›››